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SSBL-20/SSBL-30/SSBL-37.5
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SSBL-20/SSBL-30/SSBL-37.5
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无电气驱动部件，满足防爆工况使用要求，适合半导体无尘车间。
这是一种采用空气驱动方式的高压泵，因此即便在需要采取防火、防爆措施的场合，也能使用。
『SSBL系列』是一种适用于剥离装置的泵，这类装置通过高压喷射纯水、IPA、NMP等物质来去除晶圆表面的薄膜。
由于采用空气驱动方式，因此即便在需要具备防火、防爆功能的环境中也能使用。
规格
| 型式 | SSBL系列 |
|---|---|
| 吐出压力 | SSBL-20：0.98～9.8MPa SSBL-30：1.47～14.7MPa SSBL-37.5：1.76～17.6MPa |
| 吐出流量 | SSBL-20：1.13L/min SSBL-30：0.71L/min SSBL-37.5：0.58L/min |
| 驱动气压 | 0.05～0.5MPa |
|---|---|
| 空气消耗量 | 约70L（泵的冲程数为60次/分钟时） |
| 接液密封 | 纯水、IPA……FKM NMP……卡雷茨 |
说明
作为升压部件的密封材料，采用了氟树脂和超高分子量聚乙烯。
O型圈可选择FKM材质或卡雷茨材质。
【特点】
■结构紧凑，非常适合集成使用
■可通过调节空气供应压力来控制输出压力
■在0.5MPa的空气压力下，可提升至MAX 17.6MPa（SSBL-37.5A）
VBL-F / VBL-FU / VBL-FS
DISPER 2.5
SPM-P/SP-P
600 系列
NH 系列
SC-A系列
IMF-500
LBX TYPE M 型
TK-100型
FS LINE/FS LINE 混合型
ATV系列
EM‑PHTS
