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日本樫山工业Kashiyama干式真空泵SDE303X

SDE303X

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深圳秋山工业设备有限公司

日本

产品规格型号
参考报价:

1-5万元

品牌:

日本樫山工业Kashiyama

型号:

SDE303X

关注度:

36

范围(量程或细度):

不限

创新点:

日本樫山工业(Kashiyama)生产的干式真空泵SDE303X具有以下特点:
无油干式技术:采用螺杆式/爪式转子结构,通过精密啮合转子实现气体压缩,全程无润滑油,避免油蒸气污染,适合敏感工艺如晶圆加工。
抽速范围:10~1,500 m³/h,极限真空 0.1 Pa(0.001 mbar)。
耐腐蚀设计:转子与腔体采用不锈钢镀层或陶瓷涂层,耐受酸性气体(如HCl、Cl₂)和颗粒物。
节能高效:变频驱动(VFD)调节转速,能耗较油封泵降低30%~50%。
智能控制与监控:实时参数显示,包括真空度、温度、功耗等数据,这些数据可以通过触摸屏或远程接口(Modbus/以太网)输出。自诊断系统,振动、温度传感器预警异常(如过载或异物进入),自动停机保护。
典型应用场景:半导体与电子、化工与制药、新能源等领域。

产品介绍

日本樫山工业(Kashiyama)生产的干式真空泵SDE303X具有以下特点:

  1. 无油干式技术:采用螺杆式/爪式转子结构,通过精密啮合转子实现气体压缩,全程无润滑油,避免油蒸气污染,适合敏感工艺如晶圆加工。

  2. 抽速范围:10~1,500 m³/h,极限真空 0.1 Pa(0.001 mbar)。

  3. 耐腐蚀设计:转子与腔体采用不锈钢镀层或陶瓷涂层,耐受酸性气体(如HCl、Cl₂)和颗粒物。

  4. 节能高效:变频驱动(VFD)调节转速,能耗较油封泵降低30%~50%。

  5. 智能控制与监控:实时参数显示,包括真空度、温度、功耗等数据,这些数据可以通过触摸屏或远程接口(Modbus/以太网)输出。自诊断系统,振动、温度传感器预警异常(如过载或异物进入),自动停机保护

  6. 典型应用场景:半导体与电子、化工与制药、新能源等领域


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