1-5万元

日本樫山工业Kashiyama

SDE303X

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不限

日本樫山工业（Kashiyama）生产的干式真空泵SDE303X具有以下特点：
无油干式技术：采用螺杆式/爪式转子结构，通过精密啮合转子实现气体压缩，全程无润滑油，避免油蒸气污染，适合敏感工艺如晶圆加工。
抽速范围：10~1,500 m³/h，极限真空 0.1 Pa（0.001 mbar）。
耐腐蚀设计：转子与腔体采用不锈钢镀层或陶瓷涂层，耐受酸性气体（如HCl、Cl₂）和颗粒物。
节能高效：变频驱动（VFD）调节转速，能耗较油封泵降低30%~50%。
智能控制与监控：实时参数显示，包括真空度、温度、功耗等数据，这些数据可以通过触摸屏或远程接口（Modbus/以太网）输出。自诊断系统，振动、温度传感器预警异常（如过载或异物进入），自动停机保护。
典型应用场景：半导体与电子、化工与制药、新能源等领域。