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场发射扫描电镜 SEM4000Pro
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国仪量子技术（合肥）股份有限公司
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国仪量子
场发射扫描电镜 SEM4000Pro
6351
SEM4000Pro是一款分析型热场发射扫描电子显微镜，配备了高亮度、长寿命的肖特基场发射电子枪。三级磁透镜设计，束流**可达200 nA，在EDS、EBSD、WDS等应用上具有明显优势。标配低真空模式，以及高性能的低真空二次电子探测器和插入式背散射电子探测器，可观察导电性弱或不导电样品。标配的光学导航模式，以及直观的操作界面，让您的分析工作倍感轻松。
01配备高亮度、长寿命的肖特基热场发射电子枪
02分辨率高，30 kV 下优于 0.9 nm 的极限分辨率
03三级磁透镜设计，束流可调范围大，**支持 200 nA 的分析束流
04无漏磁物镜设计，可直接观察磁性样品
05标配低真空模式，以及高性能的低真空二次电子探测器和插入式背散射电子探测器
06标配的光学导航模式，中文操作软件，让分析工作更轻松
应用案例
产品参数
关键参数 高真空分辨率 0.9 nm @ 30 kV，SE 低真空分辨率 2.5 nm @ 30 kV，BSE，30 Pa 1.5 nm @ 30 kV, SE, 30 Pa 加速电压 200 V ~ 30 kV 放大倍率 1 ~ 1,000,000 x 电子枪类型 肖特基热场发射电子枪 样品室 真空系统 全自动控制 低真空模式 **180 Pa 摄像头 双摄像头 （光学导航+样品仓内监控） 行程 X=110 mm，Y=110 mm，Z=65 mm T: -10°~+70°，R: 360° 探测器和扩展 标配 旁侧二次电子探测器（ETD） 低真空二次电子探测器（LVD） 插入式背散射电子探测器（BSED） 选配 能谱仪（EDS） 背散射衍射（EBSD） 插入式扫描透射探测器（STEM） 样品交换仓 轨迹球&旋钮控制板 软件 语言 中文 操作系统 Windows 导航 光学导航、手势快捷导航 自动功能 自动亮度对比度、自动聚焦、自动像散
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