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SiC高温氧化炉

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山东力冠微电子装备有限公司

山东

产品规格型号
参考报价：

面议

品牌：

山东力冠

型号：

SiC高温氧化炉

关注度：

261

产品介绍

专用于SiC晶圆的高温氧化工艺，可实现晶圆片高温真空环境下完成氧化工艺。

可使用O2,N2O，NO，NO2或湿法氧化，采用无金属加热和真空装备。

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