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XY轴压电平台

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产品介绍

压电平台XY200M沿X和Y轴的行程为200 μm，**可承受3kg的负载。应用领域包括原子力或扫描隧道显微镜和掩膜定位等等。这种平台基于APA200M设计，具有很高的硬度，可以配备精度高达10nm的应变计或涡流传感器。平台沿X，Y和Z轴的转动非常小。移动外框可根据要求定制。紧凑型XY25XS平台非常适合用于光纤定位，微扫描等应用。

参数	单位	XY25XS	XY200M
型号		V-XYXS25	V-XYM200
备注		-	-
传感器		SG	SG，ECS
主动轴		TX，TY	TX，TY
**空载位移[Tx，Ty]	um	25	200
Z方向**面外位移	um	0.50	1.00
Z方向的**转动	urad	50	240
XY方向的**转动	urad	10	50
电压范围	V	-20…150	-20…150
硬度	N/um	2.50	0.59
高度(Z 轴)	mm	18.0	22.0
尺寸(X&Y 轴)	mm	50*50	100*100
分辨率	nm	0.3	2.0
质量	g	80	180
空载共振频率(在致动方向)	Hz	3000	580
响应时间	ms	0.17	0.86
电容 (每个电气接口)	uF	0.50	6.30
机械接口(有效负载)		1Ф17mm hole+4Ф1.8mm onФ20mm	3Ф2.7mm holes on Ⅱ38
机械接口 (框架)		4 Ф2.8mm holes on []45	4 Ф4.5mm holes on []84
电气接口		2 RG178B/U同轴电缆	2 RG178B/U同轴电缆

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