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测量精度高；方便快捷地分析样品的表面形貌和粗造度；分辨率高，景深大，清晰观察不同焦平面上的图像信息；共焦切层，三维重组，多角度观察；对不同时间，不同位置的图像进行无缝拼接，再现性强；可获得亚微米级的线宽、面积、体积、台阶、线与面粗造度，透明膜厚等几何参数测量数据。
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