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STORM 5000®是维普第4代掩模图形缺陷检测设备
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苏大维格
STORM 5000®是维普第4代掩模图形缺陷检测设备
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STORM 5000®是维普第4代掩模图形缺陷检测设备，基于STORM 3000的技术积累及成功经验，在光学成像、算法、算力等方面进一步提升，可满足更高制程的Mask制造；支持PSM、Binary 掩模检测，适配 ArF 与 KrF对应的技术节点。
为Mask shop及晶圆制造提供高效的Reticle检测方案
基于深紫外DUV激光的超高分辨率光学系统
支持反射光、透射光同时检测
支持DD、SL、DB检测模式
支持RSP 150/200片盒
支持GDS、OASIS、MEBES文件格式
支持OPC图形检测
支持GPU分布式计算
MiPrinter 连续生长3Ｄ微纳打印系统
Multi-μ 3DPrinter 高保真微纳3Ｄ打印系统
光伏投影扫描光刻系统 HJT-lithography systems
Vortex 2000
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