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IRIS-530双表面颗粒检测设备

IRIS-530双表面颗粒检测设备

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苏州苏大维格科技集团股份有限公司

江苏

产品规格型号
参考报价：

面议

品牌：

苏大维格

型号：

IRIS-530双表面颗粒检测设备

关注度：

247

产品介绍

IRIS-530是维普推出的针对IC Mask双表面颗粒检测设备，系统采用上下两组光学系统与明场、暗场照明模式。可同时检测Pellicle及Glass面的颗粒及脏污检测，适用于Mask shop出货检测、FAB厂日常监控。

应用场景

为Mask shop出货检测、FAB Reticle定期监控提供高效、低成本的检测方案。

关键特性

  • 同时检测玻璃面、pellicle面颗粒

  • 可兼容RSP200、Nikon Case、水晶盒的开盒与自动上下板

  • 基于明场+暗场的检测方式

  • pellicle面、glass面、膜框内外部检测区域可灵活设置

  • 缺陷位置与图形位置关系可视化展示

  • 配置气浴风刀，可对表面颗粒进行清除


获取更多信息，请访苏州苏大维格科技集团股份有限公司 网站

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