测量/计量仪器-STORM 3000U基板缺陷检测设备-苏州苏大维格科技集团股份有限公司-产品详情

STORM 3000U基板缺陷检测设备

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苏州苏大维格科技集团股份有限公司

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产品规格型号

参考报价：

面议

品牌：

苏大维格

型号：

STORM 3000U基板缺陷检测设备

关注度：

277

产品介绍

STORM 3000U是维普新一代针对IC Mask基板缺陷检测产品，基于已被认可的STORM 3000平台架构，在光学成像、传输及缓存进行相应的优化、以提升易用性及降低设备成本。适用于Mask Blank基板生产、出货及Mask shop来料检测需求，针对200nm检测精度，具有高效率、易使用、低成本等重大优势。

应用场景

为IC Mask基板制造、IC Mask shop来料检测提供高效、低成本的检测方案。

关键特性

基于激光的超高分辨率光学系统
支持SMIF Pod自动上下料
支持颗粒、划伤、针孔、脏污检测
支持自动Review及缺陷分类
支持抛光板、铬板及匀胶后检测
支持基板自动分级及缓存

获取更多信息，请访苏州苏大维格科技集团股份有限公司网站

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STORM 3000U基板缺陷检测设备

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