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MiScan 高效混合直写光刻系统

MiScan 高效混合直写光刻系统

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苏州苏大维格科技集团股份有限公司

江苏

产品规格型号
参考报价：

面议

品牌：

苏大维格

型号：

MiScan 高效混合直写光刻系统

关注度：

299

产品介绍

技术特点

  • 可选配大功率光源405nmLD、355nmDPSSL（Dpssl355nm激光光源寿命大于20000小时）

  • 标准支持12英寸幅面基板，其他幅面可定制

  • 多维光刻(偏振曝光、干涉曝光、1024阶3D曝光)

  • 高精密工件台

  • 高精度环控系统

  • 自动聚焦，实时对准

  • 分区定位，多基片，多任务曝光

  • 支持自动与手动对准

  • GDSII、BMP、STL等文件格式支持

规格参数

* 具体指标因工艺差异有所不同

应用示例


获取更多信息，请访苏州苏大维格科技集团股份有限公司 网站

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