四方仪器红外气体传感器，精准测气，稳守工艺
四方仪器针对半导体行业薄膜沉积设备清洁终点检测需求，推出的NDIR红外气体传感器，可精准在线监测WF6、SiF4、CF4、SF6、NF3、CO2等气体浓度，助力优化腔室清洗工艺、精准控制清洗时长、降低特气消耗，提升整体工艺良率。
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