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产地粉碎设备

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F-REX200M2化学机械研磨设备

F-REX200M2化学机械研磨设备

品牌：上海荏原
产地：上海
型号：F-REX200M2
荣誉奖项：
报价：面议

核心参数

粉碎程度：其他
单位能耗：-
产量：-
装机功率（kw）：-
成品细度：-
入料粒度（mm）：-
工作原理：其他

产品介绍

产品特点

干进干出

有支持大批量生产的多样辅助设备

优越的工艺性能

研磨终点检出监视器(可选)

在线膜厚测定仪(可选)

Model F-REX系列本装置是用于无尘室中对半导体晶元表面进行化学机械研磨的CMP设备。设备具备经市场证明了的高度可靠以及优越的过程处理性能,并能对各个客户的特殊规格要求进行灵活应对。

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