岛津/KRATOS高性能X射线光电子能谱仪AXIS-HSi型
可分析30mm以下的微小区域，同时，可进行XPS成图，观测到不同结合状态的分布图，是高性能的XPS。 灵敏度 Ag3d5/2 450W 1.0eV时120mmf:200 kcps 60mmf:75kcps →成图范围 10mm×10mm** →自动分析 在10mm×10mm视野内的任意20点 .

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