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厂商性质:生产商
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1200℃集成型自动小型PECVD系统
产品型号:1200℃集成型自动小型PECVD系统
供应商报价:面议
产地:天津
发布时间:2025-07-11
所属分类:首页 > 窑炉设备频道 > 实验电炉专场 > 1200℃集成型自动小型PECVD系统
  • 产品简介
  • 应用行业
  • 典型用户

产品用途

PECVD系统是借助射频使含有薄膜组成原子的气体电离,在局部形成等离子体,而等离子体化学活性很强,很容易发生反应,在基片上沉积出所期望的薄膜。

PECVD系统配置;

1.1200度开启式滑动单温区真空管式炉

2.等离子射频电源

3.多路质量流量控制系统

4.真空系统(单独购买)

产品特性;

电源范围广;温度范围宽;溅射区域长;整管可调;精致小巧,性价比高,可实现快速升降温,是实验室生长薄膜石墨烯,金属薄膜,陶瓷薄膜,复合薄膜等的理想选择,也可作为扩展等离子清洗刻蚀使用。

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