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厂商性质:生产商
商品人气:4105
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小型PECVD管式炉系统
产品型号:OTF-1200X-50S-PE
供应商报价:面议
产地:安徽
发布时间:2020-06-11
所属分类:首页 > 窑炉设备频道 > 管式炉专场 > 小型PECVD管式炉系统
  • 产品简介
  • 应用行业
  • 典型用户

小型PECVD管式炉系统

  • 型号:

  • OTF-1200X-50S-PE

  • 产品概述:

  • OTF-1200X-50S-PE是一款小型等离子体气相沉积管式炉系统(PECVD)。该设备配有等离子射频电源,开启式管式炉(带有真空法兰和连接管道)及一个直联式双旋机械泵。此套设备模型可组合为不同类型的PECVD系统,且设备性价较为理想。

设备名称

小型PECVD管式炉系统——OTF-1200X-50S-PE (2019.12.23—科晶实验室审核)

产品提示

1、多种配件可选提示   2、特殊设备尺寸设备   3、科晶实验室邀请提示   4、配件妥善保管提示

产品特点

▪ 射频电源可实现等离子增强从而显著降低实验温度;

▪ 整套设备尺寸小巧;

▪ 可通过工艺调节来控制化学计量;

▪ 可通过射频电源的频率来进行控制薄膜的应力。

加热炉参数

▪ **温度:1100℃(<30min);连续工作温度:1000℃;

▪ PID温度控制器及30段可编程温控系统,控温精度:±1℃;

▪ 输入电源:208- 240V AC,功率:1.2KW;

▪ 炉膛保温材料采用高纯氧化铝多晶纤维,并且内炉膛表面涂有美国进口的高温氧化铝涂层,可以提高加热效率,反射率及延长仪器的使用寿命。


    



更多参数请联系科晶销售部

射频电源

▪ 科晶公司现有不同功率的射频电源可供选择,以满足不同实验条件的需求。


300W射频电源500W射频电源100W射频电源输出功率0-300W可调(稳定性:±1%)0-500W可调(稳定性:±1%)0-100W可调(稳定性:±1%)射频频率13.56 MHz(稳定性:±0.5%)13.56 MHz(稳定性:±0.5%)13.56 MHz(稳定性:±0.5%)匹配自动匹配自动匹配手动匹配噪音<50dB<50dB<50dB冷却方式风冷风冷风冷输入电压AC180-250VAC108-250VAC110-240V图片  
真空系统

▪ 采用TRP-12的双旋真空泵;

▪ KF25卡箍及波纹管用于连接管式炉与真空泵;

▪ 真空度可达10-2Torr。


供气系统

▪ 四通道质子流量计控制系统可实现气体流量的精确控制(精确度:±0.02%);

▪ 流量范围:


一路0-100 sccm二路0-200 sccm三路0-200 sccm四路0-500 sccm


▪ 电压:208-240V, AC, 50/60Hz;

▪ 气体进出口配件:6mm OD的聚四氟管或不锈钢管;

▪ 不锈钢针阀用于手动控制气体进出;

▪ PLC触摸屏可以简便地进行气体流量设置。


      

产品尺寸和重量

▪ 尺寸:1500mm L´600mm W´1200mm H

▪ 净重:75 kg 

认证

▪ CE认证

▪ 所有电器元件通过 UL / MET / CSA认证

▪ 如您另外付费,我们可以保证单台仪器的TUV(UL61010)或CSA 认证


承诺

▪ 一年质保期,终身维护(不包括炉管、硅胶密封圈和加热元件)


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