【技术参数】
样品室玻璃腔体尺寸 | 120mm ? x 120mm H，高强度不锈钢结构 |
样品台尺寸 | 可放置12个标准钉形样品台，高度可在 30mm内调节 |
蒸镀源 | 高纯度碳棒，直径6.15mm |
蒸镀控制系统 | 微处理器控制，远程电流/电压感应；**电流180A，程序化数字控制； 提供真空安全联锁装置，配有过流保护； |
模拟计量 | 真空 Atm - 0.001mb 电流: 0 – 200A |
控制方式 | 自动蒸镀控制；可选择手动操作，也可通过控制数字定时器 (1 – 30秒)及电压设定 (0.1 to 5.5V)实现自动蒸镀控制；自动放气功能； |
机械泵 | 2L/s，25-30s内真空度下降到0.1mb |
工作电压 | 220V, 50/60HZ |
膜厚监控仪（选配） | 通过6MHz石英晶体进行原位监控，显示纳米级厚度，碳厚度可精确到0.1nm |
适用配套 | Zeiss, JEOL, Hitachi, FEI, Tescan, Phenom等扫描电镜 |
【产品详情】
Agar 全自动喷碳仪为英国进口设备，操作简单，适用于扫描电镜样品制备等。喷碳仪使用高纯度碳棒，更容易实现在高倍下得到高质量的镀膜效果，以便对样品进行形貌观察及进行能谱EDS或EBSD分析。
喷碳仪使用的是碳棒，真空度相对来说要高一些；用碳棒的喷碳颗粒要细一些，同时对样品的加热温度也要高一些。
样品台：
碳棒：
膜厚监测仪：
