1.产品名称:小型氧化亚硅气象沉积真空炉
2.应用领域:动力电池负极材料(氧化亚硅等可气相沉积材料)
3.工艺描述:三温区设计,合金内胆,温差控制精度3℃,高温高真空,具备脱水,混炼反应,提纯等工艺,反应充分,成品率高(约70%-80%)
型号
装料尺寸
装载量
工作温度
极限温度
真空度
总功率
气氛类别
工序时长
MGB15-85HH
Φ150 * 850
0.12M3
1350°C
1600℃
0.1* 0.5pa
35KW
Ar/N2
16H/炉