激光源产生的紫外/软X射线辐射是Tingen在激光实验室开发的，由高脉冲能量YAG激光器（1064nm，800mJ，7ns）聚焦于气体电离产生。不同的目标气体对应不同的能谱分布。
产品特点
● 低残留
● 高EUV能量（3.5 MJ）
● *低耗气量（气体脉冲持续时间：<1 ms）
● 简单目标气体交换
● 桌面系统
产品应用
● 计量：反射测量、吸收
● 光谱学（nexafs）
● 光学/传感器测试
● EUV损坏调查
● 材料相互作用基础研究
● 水窗显微镜（λ=2..4纳米）
技术参数
测试数据展示
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