日本JEOL，大功率电子枪/电源，EBG-300UA，JEBG1000UB，JEBG3000UB
JEBG系列大功率电子枪是在真空中蒸发或熔解金属及氧化物的大功率电子束发生源，能在不断输送中的宽幅塑料和大面积玻璃基板上高速率地连续镀膜，此外在电子束熔炼时，可用于高熔点金属锭的生产及提纯。
产品规格：
型号 | EBG-300UA | JEBG-1000UB | JEBG-3000UB |
**输出功率 | 30kW (20kV， 1.5A) | 100kW (30kV， 3.4A) | 300kW (40kV， 7.5A) |
**偏转角 | ±30° | ||
扫描范围 | X， Y 轴 | ||
**扫描频率 | 300Hz | 200Hz | 200Hz (300Hz: 选配) |
适用电源 | ST-30BE2 | JST-100C | JST-300CHR |
产品特点：
· JEBG系列大功率电子枪是在真空中蒸发或熔解金属及氧化物的大功率电子束发生源，能在不断输送中的宽幅塑料和大面积玻璃基板上高速率地连续镀膜，此外在电子束熔炼时，可用于高熔点金属锭的生产及提纯。
· 电子束能大范围地快速扫描，通过专用の控制装置和软件，能生成各种电子束照射图形和区域。由于能够在各个照射位置上设定扫描、停留时间、输出功率及电子束形状，因而能够控制熔融面和膜厚分布。
用途
· 真空蒸镀
· 阻隔膜、保护膜、电极膜、导电膜、磁性膜等薄膜的形成。
· 真空熔解
· 生产和提炼Ti、Ta、Nb、 Mo等高熔点金属锭。
· 提炼太阳能电池多晶硅
