多功能高级磁控溅射喷金仪—nanoEM
nanoEM是Moorfield Nanotechnology推出的一款高精度的磁控溅射喷金仪。该系统可配备SEM样品托、TEM网、普通样品等多种专用样品台，满足各种高精度的喷金或电极生长需求。除了溅射金属电极外，nanoEM还具有极大的拓展空间，虽然作为台式设备，nanoEM配备了输出功率可达300W的溅射源，系统还可选择样品台旋转、样品倾斜、自动压强控制等多种功能。丰富的选件和配置可以满足学术研究的多种样品生长需求，可升级成为一台多功能的磁控溅射薄膜制备系统。该设备作为灵活的高精度金属溅射仪备受各大实验室的青睐。
主要特点：
◎ 能够达到学术研究级的多功能喷金仪
◎ SEM托、TEM网、普通样品多种专用样品台可选
◎ 可安装两个2英寸溅射源
◎ 通用的溅射靶材
◎ 本底真空<5×10-7 mbar
◎ 流量计精确控制生长气氛
◎ 可调式DC溅射源，输出功率可达300W
◎ 全自动，引导式触屏控制
◎ 完备的安全性设计
◎ 易于维护
◎ 兼容超净室
◎ 稳定的性能表现
系统选件：
◎ 腔体视窗
◎ 真空泵型号可选
◎ 气压全自动控制系统
◎ 溅射源挡板
◎ 等离子体辉光电极
◎ 样品台旋转与倾斜
◎ 晶振膜厚监测系统
