压电平台XY200M沿X和Y轴的行程为200 μm，**可承受3kg的负载。应用领域包括原子力或扫描隧道显微镜和掩膜定位等等。这种平台基于APA200M设计，具有很高的硬度，可以配备精度高达10nm的应变计或涡流传感器。平台沿X，Y和Z轴的转动非常小。移动外框可根据要求定制。紧凑型XY25XS平台非常适合用于光纤定位，微扫描等应用。
参数 | 单位 | XY25XS | XY200M |
型号 | V-XYXS25 | V-XYM200 | |
备注 | - | - | |
传感器 | SG | SG，ECS | |
主动轴 | TX，TY | TX，TY | |
**空载位移[Tx，Ty] | um | 25 | 200 |
Z方向**面外位移 | um | 0.50 | 1.00 |
Z方向的**转动 | urad | 50 | 240 |
XY方向的**转动 | urad | 10 | 50 |
电压范围 | V | -20…150 | -20…150 |
硬度 | N/um | 2.50 | 0.59 |
高度(Z 轴) | mm | 18.0 | 22.0 |
尺寸(X&Y 轴) | mm | 50*50 | 100*100 |
分辨率 | nm | 0.3 | 2.0 |
质量 | g | 80 | 180 |
空载共振频率(在致动方向) | Hz | 3000 | 580 |
响应时间 | ms | 0.17 | 0.86 |
电容 (每个电气接口) | uF | 0.50 | 6.30 |
机械接口(有效负载) | 1Ф17mm hole+4Ф1.8mm onФ20mm | 3Ф2.7mm holes on Ⅱ38 | |
机械接口 (框架) | 4 Ф2.8mm holes on []45 | 4 Ф4.5mm holes on []84 | |
电气接口 | 2 RG178B/U同轴电缆 | 2 RG178B/U同轴电缆 |
