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多通道质子流量计控制系统
产品型号:
供应商报价:面议
产地:辽宁
发布时间:2023-08-04
所属分类:首页 > 分析仪器设备频道 > 其他专场 > 多通道质子流量计控制系统
  • 产品简介
  • 应用行业
  • 典型用户

GSL-LCD是一款多路质量流量计控制系统,其质量流量计和不锈钢混气罐都安装在一个移动柜里,移动柜**可以承重1000Lbs所以在与本公司大多数管式炉配套使用时,可将管式炉置于移动柜上以节约空间。各通道气路的流量设定和状态显示都集中在一6"的触摸屏上,同时可以实时查看气体流量曲线和数据。此款设备广泛的用于材料界中CVD实验和各种材料的退火实验。

产品型号

GSL-LCD(控制面板为触摸屏)

技术参数

功能

双通道

三通道

四通道

五通道

质子流量控制器

工作温度:5~45oC

**压力:3x106 Pa

精度: ±1.5% FS

线性: ±0.5-1.5%F.S.重复精度: ±0.2%F.S.

流量范围:

一路:1~199 SCCM

二路:1~499 SCCM

注意:其他流量范围的可定制,需额外费用

工作温度:5~45 oC

**压力: 3x106 Pa

精度: ±1.5% FS

线性: ±0.5-1.5%F.S.

重复精度: ±0.2%F.S.

流量范围:

一路: 0~100 SCCM

二路: 1~199 SCCM

三路: 1~499 SCCM

注意:其他流量范围的可定制,需额外费用

工作温度: 5~45 oC

**压力:3x106 Pa

精度: ±1.5% FS

线性: ±0.5-1.5%F.S.重复精度: ±0.2%F.S.

流量范围:

一路: 0~100 SCCM

二路: 1~199 SCCM

三路: 1~199 SCCM

四路: 1~499 SCCM

注意:其他流量范围的可定制,需额外费用

工作温度: 5~45 oC

**压力: 3x106 Pa

精度: ±1.5% FS

线性: ±0.5-1.5%F.S.

重复精度: ±0.2%F.S.

流量范围:

一路: 0~100 SCCM

二路: 1~199 SCCM

三路: 1~199 SCCM

四路: 1~499 SCCM

五-九路可按照客户要求定制

产品规格

外形尺寸:600mm(L) x 745mm(W) x 700mm(H)

输入电源

AC 220V/50Hz单相

23W

PLC触摸屏

各通道的气路设定和查看都集中在一6"的触摸屏上

RS485通讯接口和PC控温软件可以连接到电脑上,进行远程控制

机械压力表

有一机械压力表安装于前面板上,与混气罐相连接

量程:-0.1~0.15 MPa (0.01 MPa/grid)

316不锈钢

通气管道

内部连接管道为1/4”不锈钢管

外部通气管道为1/4”聚四氟管

混气罐

Φ80X120mm

截止阀及配件

316不锈钢针阀

Φ1/4”不锈钢管

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