产品简介：全自动椭偏检测机台作为一种小型椭偏集成机台，通过整体高度模块化，电、气路集成技术，实现不同椭偏测量模块在线/离线式整体椭偏测量解决方案。全自动椭偏检测机台广泛应用于科学研究中各种各向同性，异性薄膜材料的膜厚、光学常数以及一维、二维纳米光栅的结构表征；工业领域新型光电器件行业所涉及的薄膜（配向膜、光刻胶、ITO、发光薄膜、封装薄膜）全片离线化快速扫描测量。
产品型号 | 全自动椭偏检测机台 | ||
主要特点 | 1、支持实验室研究整体椭偏集成控制测量技术 2、支持产线大基片离线自定义多点扫描测量并输出报告 3、支持多椭偏方案，多组合集成 4、支持测头模块以及样件机台定制化 | ||
技术参数 | 自动化程度 | 可变/固定角 | |
应用定位 | 高阶高精度型 | 高精度型 | |
单次测量时间 | 0.5-5s | ||
分析光谱 | 380-1000nm（支持扩展至193-2500nm） | ||
Mapping行程 | 支持100x100mm行程扩展 | ||
支持样件尺寸 | 支持200mm样件 | ||
