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GSL-1100X-SPC-12等离子薄膜溅射仪
产品型号:
供应商报价:面议
产地:辽宁
发布时间:2023-08-04
所属分类:首页 > 分析仪器设备频道 > 其他专场 > GSL-1100X-SPC-12等离子薄膜溅射仪
  • 产品简介
  • 应用行业
  • 典型用户

产品简介:GSL-1100X-SPC-12等离子薄膜溅射仪专门为在基底上镀金属膜(如金、铂、铟、银等)而设计,**放置样品尺寸直径为40mm,膜厚可达300?,特别适用于为SEM样品镀金而作为导电极。

GSL-1100X-SPC-12等离子薄膜溅射仪操作视频

产品型号

GSL-1100X-SPC-12等离子薄膜溅射仪

安装条件

本设备要求在海拔1000m以下,温度25℃±15℃,湿度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水:不需要

2、电:AC220V 50Hz,必须有良好接地

3、气:设备腔室内需充注氩气(纯度99.99%以上)清洗,需自备氩气气瓶

4、工作台:尺寸600mm×600mm×700mm,承重50kg以上

5、通风装置:需要

主要特点

1、可以调节电流大小,可设置溅射时间。

2、已经过CE认证。

技术参数

1、输入电源:208V-240V 50Hz/60Hz

2、样品台:?60mm,高度可调节

3、石英腔体:?100mm×130mm

4、进气口:内部装有阀门,可以向腔体内通入各种气体

5、靶材:纯度为4N的金靶,?57mm×0.12mm

产品规格

 尺寸:480mm×320mm×150mm;重量:20kg

可选配件

1Au?57mm×0.12mm4N

2Pt?57mm×0.12mm4N

3Ag?57mm×0.5mm,4N

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