用途：光刻工艺后段，光刻胶固化
特点
•**工作温度360℃和600℃、洁净度100级、氧浓度20ppm以下。
•程序运转功能，有自动/手动两种操作模式。
•快速升温、降温，降温时可采用空冷、空冷加水冷两种方式。
•配置了自动门锁、数字式压力表、数字式流量计等。
•全不锈钢材质。
•在安全方面，配置了自动过升防止、过升防止器、氮气压力异常、氮气流量异常、过电流漏电保护断路器等安全装置。
技术规格
型号 | 洁净厌氧高温气氛炉 C1-008 | |
温度范围 | 室温+30～360℃ | 室温+50～500℃ |
温度分布精度 | ±4.0℃（at 360℃） | ±8.0℃（a500℃） |
温度上升时间 | 60min（室温→360℃） | 90min（室温→500℃） |
温度下降时间 | 90min（360℃→50℃） | 120min（500℃→50℃） |
氧浓度 | 20ppm以下 | |
氧浓度下降时间 | 约45分钟 | |
洁净度 | 100级 | |
装备 | 氮气导入装置、水冷装置、差压计等 | |
内尺寸 | W600×D600×H600mm | |
电源 | 3相 AC380V | |
