产品简介 |
Instec的真空型台式探针台系列是可从外部移动探针进行点针的桌上型探针台，涵盖多型号、多温度范围。同时允许温控、探针电测试、光学观察和样品气体环境控制。探针台上盖与底壳构成一个可抽真空的密封腔，亦可内充入氮气等保护气体，来防止样品在负温下结霜，或高温下氧化。 |
功能特点 |
桌上型温控探针台，占地面积小 |
可编程控温，涵盖-190℃~1000℃（具体由型号而定） |
适用 10 mm ~ 300 mm 晶圆和器件 |
可抽真空的腔体，亦可充入保护气体使用 |
独立的四个探针，可从设备外部移动探针进行点针 |
可从温控器或电脑软件控制，可提供软件SDK |
*可做定制或改动，详询上海恒商 |
温控参数 | |
温度范围 | 涵盖 -190℃~1000℃（具体由型号而定） |
加热块材质 | 铝合金 或 银 或 陶瓷 |
传感器/温控方式 | 100Ω铂RTD / PID控制（含LVDC降噪电源） |
*小加热/制冷速度 | ±0.01℃/min |
温度分辨率 | 0.01℃ RTD传感器 0.1℃ 热电偶传感器 |
温度稳定性 | ±0.05℃（>25℃），±0.1℃（<25℃） |
软件功能 | 可设温控速率，可设温控程序，可记录温控曲线 |
电学参数 | |
探针 | 默认为铼钨材质的弯针探针 *可选其他种类探针 |
探针座 | 可从外部XYZ移动的探针臂 粗调模式+微调模式，微调行程20mm |
点针 | 从外部移动点针，每个探针座都可点到样品区上任意位置 |
探针接口 | 默认为BNC接头，可选三同轴接口 |
样品台面电位 | 默认为电接地，可选电悬空（作背电极），可选三同轴接口 |
光学参数 | |
适用光路 | 反射光路 |
窗片 | 可拆卸与更替的窗片 |
*小物镜工作距离 | 25 mm *截面图中WD |
上盖窗片观察 | 窗片范围φ50mm，大视角±40° *截面图中θ1 |
负温下窗片除霜 | 吹气除霜管路 |
结构参数 | |
适用样品 | 10 mm ~ 50 mm 直径 （标准） *可定至300mm的样品台面 |
样品腔高 | 6 mm |
探针座 | 可从外部XYZ移动的探针臂 粗调模式+微调模式，微调行程20mm |
气氛控制 | 气密腔，可充入保护气体*另有真空腔型号 |
外壳冷却 | 可通循环水，以维持外壳温度在常温附近 |
台体尺寸/重量 | 1060 mm x 600 mm x 213.2 mm / 20kg |
选型表 | |
TP102SV-PS | 温度范围 -40℃ ~ 180℃，真空腔 |
HCP422V-PS | 温度范围 -190℃ ~ 600℃（负温需配液氮制冷系统），真空腔 |
HP1000V-PS | 温度范围 35℃ ~ 1000℃，真空腔 |
定制型号 | 按客户需求定制，适用300mm晶圆样品 |
