多面扫描镜(Polygonal Scanners)，可实现大范围、高精度、超高速、高重复性的激光光束扫描。相比振镜扫描，多面扫描镜具有更快的扫描速度且具有更高的损伤阈值。
多面扫描镜(Polygonal Scanners)系统：提供不同扫描宽度，不同工作波长和聚焦光斑尺寸，可满足您对再现性和准确性的要求。
集成的远心平面镜片实现了紧凑型一体化即用型的扫描头，可以实现高性能及高效率的微加工要求。
备有通用型的控制器，易集成于线性平台和卷式行业标准运动控制系统中。系统接口可以兼容传统激光和脉冲激光。另外，模块化的设计可以按照客户需求进行快速定制。
所有扫描头都配备通用接口，控制器通过以太网控制。能多面扫描镜系统
High Performance Polygon Scanner Systems
规格参数：
Optical specifications光学规格 | Standard标准规格 | |||
Scan width扫描宽度 | 300 mm | 170 mm | ||
Wavelength波长(nm) | 355-375 | 515-532 | 1030-1070 | |
Minimum Spot*小光斑尺寸(FWHM)1 | 9 μm | 13 μm | 26 μm | |
Minimum Spot*小光斑尺寸(1/e2 dia) | 15 μm | 22 μm | 44 μm | |
Input beam diameter(1/e2 dia) 输入光斑直径(1/e2 dia) | 11 mm | 6 mm | ||
Input clear aperture输入数值孔径 | 19 mm | 10 mm | ||
Position Accuracy定位精度 | ± 10 μm or ±1 μm 2 | |||
Line straightness线平直度 | 15 μm or 1 μm 2 | |||
Spot repeatability光斑重复性 | < 3 μm 3 | |||
System specifications系统规格 | ||||
Input beam输入光斑 | Parallel beam | |||
Scan speed扫描速度 | 56 – 224 lines per second | 100 – 400 lines per second | ||
Moving spot speed光斑移动速度 | 25 – 100 meters per second | |||
Scanner mechanical efficiency 扫描头机械效率效率 | 71 % | |||
Optical efficiency光学效率 | > 85 % GR/IR | |||
Average Laser power 1平均激光功率 | 140 W (>7 ps) 50W (200 fs) | |||
Minimum pulse width*小脉冲宽度 | > 200 fs | |||
Maximum pulse energy*小脉冲能量 | 150 μJ (ps) 50 μJ (fs) | |||
Mechanical interface机械接口 | Industry standard interface | |||
Scanner to substrate clearance 扫描头到基板距离 | 26.5 mm | 18 mm | ||
Power consumption功率 | 125 W max. | |||
Electrical supply电源 | Mono + earth 50/60 Hz， 100-240 VAC | |||
PC Connection电脑链接 | Ethernet TCP/IP protocol and USB3 | |||
Cable Length连线长度 | Max. 5 meter between scanner unit and control electronics | |||
