简 介：
经典光学显微镜可以扩展成一个完善的扫描干涉显微镜使其实用性显著增加。使用这个高精度3D数据测量原理可以收集整个显微镜的可视范围。显微镜和smartWLI可以完成各种类型的3D分析为基础。
显微镜生成的2D图像
3D图像——扫描干涉显微镜的功能
测量系统 | ||||
测量原理 | 白光干涉法 | |||
z-定位系统 | Piezo 物镜调节系统 | |||
高度测量范围 垂直分辨率 | Up to 400 μm 〈1 nm | |||
| 光源 | LED | |||
相机模块 | CCD 782 x 582 pixel | |||
物镜放大倍数 横向测量范围 *小分辨率 | 10x or 20x or 50x 649x483 um² or 324x241 um² or 129x96 um² 1.66 µm or 0.96 µm or 0.70 µm | |||
测量时间 | <1 min | |||
软件 | ||||
smartWLI | 软件用于测量地形和使用一个直接接口到MountainsMap分析软件输出的3D数据，自动拼接模块 | |||
MountainsMap® | 广泛的分析软件以及轮廓和三维可视化、测量数据预处理和后处理DIN EN ISO粗糙度和高度的含量测定，顺序处理，测量记录 | |||
文档格式 | ASCII， SUR， BCR-STM， BMP， JPEG， TIFF | |||
