C10178-01 纳米膜厚测量仪系列
特性
高速、高准确度
实时测量
映射功能
不整平薄膜精确测量
分析光学常数（n，k）
可外部控制
与特定附件配合，可测量量子收益、反射率、透射率以及吸收系数等。
参数
| 型号 | C10178-01 |
| 测量模型 | 标准型（通用测量） |
| 可测膜厚范围（玻璃） | 20 nm to 50 μm*1 |
| 测量可重复性（玻璃） | 0.01 nm*2 *3 |
| 测量准确度（玻璃） | ±0.4 %*3 *4 |
| 光源 | 卤素灯 |
| 测量波长 | 400 nm to 1100 nm |
| 光斑尺寸 | Approx. φ1 mm*3 |
| 工作距离 | 10 mm*3 |
| 可测层数 | *多10层 |
| 分析 | FFT 分析，拟合分析，光学常数分析 |
| 测量时间 | 19 ms/点*5 |
| 光纤接口形状 | φ12套筒型 |
| 外部控制功能 | RS-232C， 通过PIPE或Ethernet进行内部软件数据传输 |
| 接口 | USB2.0 |
| 电源 | AC100 V to 120 V/ AC200 V to 240 V， 50 Hz/60 Hz |
| 功耗 | 250W |
*1：以 SiO2折射率1.5来转换
*2：测量400 nm 厚SiO2 薄膜的标准偏差
*3：取决于所使用的光学系统或物镜的放大率
*4：可保证的测量范围列在VLSI标准测量保证书中
*5：连续数据采集时间不包括分析时间
