146i 型多种气体校准仪
在局域网上可被远程访问
大屏幕液晶显示
用闪存增强数据存储性能
优化的设计加强了电路的通用性和集成性
易于维护的内部布局
配有质量流量稀释系统
配有产生O3和NO2的气相滴定装置
可配产生SO2、NO2、H2S、NH3等气体的渗透炉
流量测量准确度 | ±2%读数或1%满度值，以较低者为准（20至100%满度值） |
流量测量线性 | 0.5%满度值 |
流量测量重复性 | ±2%读数或1%满度值，以较低者为准（20至100%满度值） |
零气流量 | 5或10（准标）或20slm |
标气流量 | 50或100（标准）或200sccm |
渗透透炉温度 | 30或35或45℃±0.1℃ |
臭氧源输出浓度 | 1ppm@6 SLPM(稳定性和重复性满足或超过U.S. EPA 的要求） |
