工作条件
主要应用
技术参数
1）采用美国霍尼韦尔真空压力传感器； |
| 2）采用美国DWYER公司气体浮子流量计，流量显示准确； |
| 3）双路气体控制方式，气体控制更加稳定； |
| 4）弧形电极板设计，激发更完全； |
5）舱体、管路、阀体全部采用优质不锈钢材质； |
| 6）采用电容式等离子激发，内置激发电极板； |
| 7）手动、自动两种工作模式，可根据客户需求任意切换； |
| 8）触摸按键+4.3寸大屏幕彩色液晶显示屏设计； |
| 9）智能程序化控制，可编程自动完成整个实验过程； |
| 10）无需任何耗材，无需特殊进行维护； |
| 11）舱体尺寸:300x150（直径）mm； |
| 12）舱体容积: 2.6L； |
| 13）射频频率: 13.56MH； |
| 14）射频功率:10-150W无极可调； |
| 15）电源:220V 50/60hz； |
16）电流:1.2A； |
17）时间设定:0-99分59秒； |
18）气体稳定时间: 1分钟； |
19）真空度:100pa以内； |
| 20）等离子激发方式:电容式； |
21）外形尺寸:460X580X220mm(L*W*H) |
| 22）整机重量:15Kg； |
| 23）双级旋片式真空泵: |
| 24）一体式缸体，大油窗，防返油设计。 |
| 25）抽气速率：7.2m3/h/小时； |
| 26）极限压力2X10ˉ1Pa，电机功率370W，加油量330ml。 |
| 27）进排气口连接口：KF16/25法兰。 |
系统配置
1）主机 1台 2）真空泵 1台3）真空软管 1根4）舱内托盘 1块5）电源线 2根6）保险管 2个7）说明书 1本
