劳厄单晶取向测试系统：
背散射劳厄测试系统，实时确定晶体方向，精度高达0.1度；
PSEL 软件定向误差低至 0.05度；
多晶硅片二维定向mapping；
大批量样品筛选；
超20kg重负荷样品定位
水平放置系统
特征 | 优点 |
<200um 光束尺寸 | 可测量小 晶体 |
电动位移台 | 可沿生长轴轴向扫描 |
电动角位移 | 与同步加速器/中子设备直接兼容 |
手动角位移 | 与切割刀具直接兼容 |
垂直放置系统
特征 | 优点 |
<200um 光斑 | 适用于小晶粒的多晶结构 |
大范围电动线性扫描位移台 | 允许自动晶圆mapping或多个样品 |
电动Z 轴驱动 | 适用大尺寸晶棒或样品 |
手动角位移 | 允许定位到+/- 0.02度精度 |
配备PSEL CCD 背反射劳厄X-RAY 探测器：
有效输入探测面约： 155*105 mm
*小输入有效像素尺寸83um，1867*1265 像素阵列
可选曝光时间从1ms 到35分钟
芯片上像素叠加允许以牺牲分辨率为代价增强灵敏度
自动背景扣除模式
16位高精度采集模式
12位快速预览模式
PSEL 劳厄影像采集处理专业软件
劳厄影像校准软件：
自动检测衍射斑点，并根据参考晶体计算斑点位置；
根据测角仪和晶体轴自动计算定向误差(不需要手动拟合扭曲的图形)
以CSV格式保存角度测量值，以进一步保证质量的可追溯性；
顶部到底部的终端用户菜单，允许资深结晶学用户自行逐步确认定位程序；
基于Python的软件，允许使用套接字命令对现有软件/系统进行远程访问控制；
系统附件包括：
劳厄X-RAY 探测器
劳厄校准软件
高亮度X-RAY 发生器
电动/手动 角位移台& 高精度位移台；
样本定位/视频监控 摄像头；
激光距离传感器/操纵杆
典型劳厄衍射应用图样：
劳厄单晶取向测试系统应用方向：
探测器材料： HgCdTe/CdTe， InGaAs， InSb;
窗口玻璃材料&压电/铁电陶瓷： Al2O3， Quantz，LiNbO3
金属合金： 钨，钼，镍基合金；
激光晶体材料： YAG， KTP， GaAs
薄膜/半导体基地材料： AIN， InP SiC;
磁性&超导材料: BCO/BSCCO/HBCCO， FeSe， NbSn/NbTi
闪烁体材料： BGO/LYSO， CdWO4， BaF2/CaF2;
