单纵模紫外纳秒固体激光器IXION-193
IXION-193是单频二极管泵浦全固态激光器。用于光学计量、高功率ArF准分子激光器的带宽控制和193nm波长的步进校准。光谱带宽接近理论傅立叶变换极限。中心波长以0.01nm的精确度从190nm到194nm范围可选。系统可选内置高精度光谱仪，精确度可达1pm以保证对激光器调谐的**控制。
单纵模紫外纳秒固体激光器IXION-193典型参数
型 号 | IXION-193 SLM |
波 长 | 193.368 nm |
平均功率 | >10 mW |
脉 宽 | < 10 ns |
脉冲能量 | >1.6 μJ |
重复频率 | 6 kHz |
M2 因子 | < 1.6 |
线 宽 | <120MHz;0.015pm; 0.004cm-1 |
调谐范围 | >80GHz;10pm;2.6cm-1 |
相干长度 | >1 m |
单纵模紫外纳秒固体激光器IXION-193特点· 工业级的频率转换，密封封装· 插槽安装激光二极管泵浦· 优异的TEM00光束形貌· 脉冲到脉冲之间波动小· 免维护与热电温控管理· LabVIEW驱动· 内置光谱仪用于波长实时控制单纵模紫外纳秒固体激光器IXION-193应用· 193 nm波长计量· 光谱仪校准· 干涉测量· 准分子激光器的种子注入脉冲宽度光谱带宽长时间功率稳定性光束质量
