此设备具有性价比高、性能稳定、操作简便、成本低、便于操作维护的特点。可以设置功率为低、中、高级别，对各种不规整几何形状、表面粗糙程度各异的金属、陶瓷、玻璃、硅片、塑料等物件表面进行超清洗和改性，完全彻底地清除样品表面的有机污染物。同时也可以在常温条件下进行超清洗，对样品非破坏性处理。
型号 | LPC-100 |
信号频率 | 13.56MHz+/-0.005% |
功率输出范围 | 0W-500W |
**反射功率 | 100W |
射频输出接口 | 50Ω，N-type,female |
功率稳定度 | +/-0.1% |
谐波分量 | ≤-50dbc |
供电电压 | 单相交流（187V-253V）频率50/60HZ |
整机效率 | ≥70% |
功率因素 | ≥90% |
冷却方式 | 强制风冷 |
反应舱规格 | Φ165*L210mm（石英材质） |
反应舱有效容积 | 4.5L |
输入电源 | 220V/50HZ |
整机输入功率 | 100W |
射频功率 | 0-500W（连续可调） |
射频频率 | 13.56MHz |
常用工作气体 | 空气、氩气、氮气或混合气体等 |
整机规格 | 500*250*300mm(长*宽*高） |
整机重量 | 25KG |
