氮化硅,氮化铝粉体量产炉
设备用途:
氮化硅,氮化铝,每化硼等粉体量产烧结。
设备特点:
1.温度:2300摄氏度
2.电力:55KW
3.温度分布精度:R10
4.发热体:石墨
5.压力:微正压
6.气氛:N2环境,氧含量小于100ppm