• 轻松集成快速切换工作模式和光路
• CF200真空法兰
• 同时记录10-80nm范围的光谱范围
• 集成光谱滤光片
• 使用MCP检测而产生的大动态范围
• 单光子计数级别的灵敏度
• 高度集成的产品结构（16x17cm²）
极紫外光栅
其他光栅
光谱模式
波长 [nm]
10 - 80
根据要求
分辨率[nm]
0.13 - 0.25
光栅效率
~20%
MCP 效率
光束分析模式
分辨率[um]
100
* 其他配置（光谱范围，等）根据要求定制
