一、设备简介
该款设备是由单端封口红外滑轨炉、 高真空机组、供气系统及操作控制界面组成，内控热电偶用于控制RTP炉内的温度，出气口通过连接手动挡板阀、波纹管用于对石英舱体内的真空获取，进气口除用于通入保护气体或反应气体外，还可以用于移出炉膛后通入气体带走热量的快速降温，以此获得较高的降温速率。
二、技术参数
加热系统 | |
额定电压 | AC 220V 50/60Hz |
额定功率 | 20KW |
使用温度 | 1200℃ |
额定温度 | 1000℃ |
稳定状态温度范围 | 100~1000℃ |
加热区长度 | 230mm |
恒温区长度 | 120mm |
温度控制重复性 | ±3℃ |
温度控制精确度 | ±0.1℃ |
升温速率 | ≤50℃/s |
控温方式 | 内控温 |
温度过冲 | ≤3℃ |
炉管尺寸 | 高纯石英管Φ90*400*R45mm |
控温方式 | 智能化PLC控制，具有超温和断偶报警功能 |
真空机组主要参数 | |
空气相对湿度 | ≤85% |
工作电压 | 220V±10% 50~60Hz |
抽气速率 | 165L/min |
实验真空度 | 5.0x10-1Pa（空载、冷态） |
容油量 | 1.1L |
进气口口径 | KF25 |
排气口口径 | KF25 |
供气系统主要参数 | |
连接头类型 | 双卡套不锈钢接头 |
标准量程（N2） | 200sccm、500sccm |
准确度 | ±1.5% |
线性 | ±0.5~1.5% |
重复精度 | ±0.2% |
响应时间 | 气特性 1~4Sec，电特性 10Sec |
工作压差范围 | 0.1~0.5MPa |
压力 | ≤3MPa |
接口 | Φ6，1/4” |
显示 | 液晶屏显示 |
工作环境温度 | 5~45高纯气体 |
内外双抛不锈钢管 | Φ6 |
