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合肥安迅精密技术有限公司
厂商性质：生产商
商品人气：604
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气浮单轴运动平台
产品型号：气浮单轴运动平台
供应商报价：面议
产地：安徽
发布时间：2024-10-12
所属分类：首页 > 辅助设备频道 > 定制加工件专场 > 气浮单轴运动平台
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重复定位精度±100nm

直线度、行走平面度±1um

高动态响应特性

低静态抖动

快速整定

支持非标定制

行程

300mm

分辨率

20nm

**定位精度

±300nm

重复定位精度

±100nm

速度

1m/s

加速度

1G

位置稳定性

±20nm

行走平面度

±1um

直线度

±1um

Pitch

±2arcsec

Yaw

±2arcsec

Roll

±2arcsec


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