12寸全自动碱腐蚀机

1）： 适用于6-12英寸的硅片腐蚀清洗功能 

2）： 去边规格0.4-1.5mm,去边精度±0.1mm，特殊规格支持定制； 

3）： 设备包含FOUP LoadPort,Pre-Aligner,WTR机械手,机械模组，Buffer位，刻蚀槽，水洗槽，甩干位，储酸槽；