设备可用于粉体、颗粒物料、硅负极材料气相沉积碳包覆等工艺的高变。
产能:炉内**填充率约为25%:**批次处理1-10kg。
炉体倾角:-4~15度(自动可调)/筒体转速:0.25~4转/分(变频可调)。
炉内气氛环境:满足高纯氨气(或者其他惰性气体)、乙炔、硅烤、甲烷等混合气体。
设备使用温度:设计**1100℃,炉内恒温时间跟据客户工艺调,可长期运行于10009C。