参数：

高度：50 – 1000µm

壁数：>10

直径：>50nm

纯度：95%

密度：≤0.3 g/cm3

比表面积：～20 m2/g

电导率：103 S/m

基底：单晶硅/多晶硅/石英/铜/镍/不锈钢

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