碳化硅晶圆改质切割设备

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碳化硅晶圆改质切割设备

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产品型号：碳化硅晶圆改质切割设备
供应商报价：面议
产地：广东
发布时间：2025-04-03

所属分类：首页 > 粉碎设备频道 > 切割机专场 > 碳化硅晶圆改质切割设备

产品简介

应用行业

典型用户

主要特点：

设备特点：

1、特制激光系统

2、优异的切割效果

3、全自动生产

4、高精度视觉系统；自动对位，自动寻焦

5、高精密运动平台

6、兼容4/6inch生产

7、SECS GEM标准接口

主要参数:

主要参数	加工尺寸	4inch、6inch晶圆
	加工速度	400-1000mm/s
	加工精度	±1μm
	平台参数	行程300mm×300mm 重复定位精度±0.001mm θ轴重复定位精度±2arcsec
	激光器参数	红外
	稼动率	98%以上
	重大故障间隙时间	＞1000H
	良率	≥99.5%

加工效果：

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