磨抛机-离子束抛光机ÅFiSy IFS1500I-长沙埃福思科技有限公司-产品详情

离子束抛光机ÅFiSy IFS1500I

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长沙埃福思科技有限公司

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品牌：

长沙埃福思

型号：

离子束抛光机ÅFiSy IFS1500I

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产品介绍

名称	参数
加工能力 (**工件尺寸)	尺寸1500mmx1500mm 厚度500mm
可加工面形	平面、球面、非球面、自由曲面、抛物面等
可加工材料	石英、微晶、ULE、蓝宝石、单晶硅、碳化硅等
可加工精度	亚纳米加工精度、可实现面形RMS<1nm超高精度加工
X轴行程	≥1600mm
Y轴行程	≥1600mm
Z轴行程	≥300mm
离子源	德国射频离子源
中和器	德国
工作真空建立时间	≤1小时
副室真空建立时间	≤15分钟
保护功能	具备意外断电、断水、断气等故障报警保护、运动系统故保护、离子源故障保护等
智能功能	具备智能一键开机、一键停机、定时预约加工、远程控制、日志等功能
外形尺寸	6.4m×3.8m×3.3m
整机重量	16吨
能耗功率	总功率35kW

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离子束抛光机ÅFiSy IFS1500I

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