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LDI激光曝光机辅助对位
面议
苏州精创
LDI激光曝光机辅助对位
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本设备主要用于激光曝光机辅助对位,利用显微镜放大原理,结合多镜头组合精确的找到产品相对Mark点的精准坐标,并将坐标信息提供给曝光机进行精准曝光。
3D曲面手机盖板玻璃,车载玻璃,智能家居家电等面板领域。
1、设备采用6个500万像素相机组合的方式代替传统二次元单相机取点的方式,实现每片盖板只需要一次拍照即可取到6个点,从速度上是原有设备的5倍。
2、设备采用移动式大尺寸面光源,完全可以满足待测载具700*700mm测量需求。
3、设备采用大理石平台,双立柱结构,具有良好的抗震性,失效形变小。
4、测量精度偏差可以控制在20um以内。
序号 | 项 目 | 参 数 |
1 | 外形尺寸 | 1600*1200*1700mm |
2 | 电源 | AC220V 50HZ |
3 | 功率 | 1.5KW |
4 | 设备重量 | 1150KG |
5 | 主机控制 | PC+轴卡控制 |
6 | 相机 | 面阵相机 |
7 | 光源 | 800*1000mm |
8 | 马达 | 台达 |
9 | 丝杆 | TBI |
10 | 导轨 | TBI/HIWIN |
11 | 光栅尺 | Micore |
12 | 传感器 | 欧姆龙 |
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