直径（mm）

76.2±0.3

100.0±0.3

125.2±0.3

长度（mm）

≥80

≥60

≥50

轴向

X、Y、Z、36°Y、42°Y

晶片厚度（mm）

0.35-1

基准边方向

X、Y、112.2°Y

基准边宽度（mm）

22.0±2.0

32.0±2.0

正面抛光

Ra≤8A

背面研磨（μm）

0.2-4

平整度TTV（μm）

≤10

PLTV（5×5mm；LTV＜1μm）

≥97%

≥95%

≥90%

弯曲度（μm）

≤20

≤35

≤50

倒角

倒角

极化

完全

居里温度（℃）

605.0±3.0