静电夹具

这是一种利用电能来吸附目标物体（工件）的装置。即便是对那些质地脆弱、易损的目标物体，也能以较小的力量将其固定住。

吸着方式

库仑力或约翰逊-拉贝克力

桌面平面度可控制在3μm以下

由于采用陶瓷台面，因此能够保持出色的平面度。 

也可在真空环境下使用

由于采用了陶瓷材料以及适用于真空环境的部件，因此可在一定的真空环境下使用。
（需确认使用条件）

出色的绝缘电阻

由于陶瓷的体积电阻率大于10¹²/Ω·㎝，因此具有出色的耐用性。

典型应用领域

半导体硅片、SiC/GaN 宽禁带晶圆蚀刻、镀膜、光刻工序；LCD、OLED 面板玻璃基板加工；真空等离子处理设备；晶圆检测、量测设备；精密半导体薄膜沉积装置。