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全自动Overlay量测设备

MRS-OM40

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MRS-OM40

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69

产品介绍

镁伽全自动 〇verlay 量测设备 MRS-OM40，适用于光刻制程单面、双面、红外 Overlay 自动量测，配置可见光和红外光显微成像系统，具备高速、高精度、多功能量测能力，是 MEMS 晶圆厂、芯片制程黄光区进行产品良率管理的关键设备。

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