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痕量气体分析器

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产品介绍

  • PDHID氦离子化检测器在线敏感检测
  • 适用于气体工业,稀有气体,半导体气体的领域进行痕量杂质分析的自动化仪器
  • 是生产线质量控制和品质保证*理想的检测仪器
  • 可任意配选,以适用于多种应用场合
  • 根据用户需要可提供所需的数据采集和数据输出的方式
  • 采用了国际***的Valco阀、管路系统和检测器
可选件
  • 用户自选的数字或模拟输出
  • 按照用户需要,提供进样系统和校准系统
  • 扩展应用所需部件
  • 电子流量测量和认证
  • 痕量湿度检测
  • 集成的架装组件
  • 特殊合金结构或者Sulfinert® 或Silcosteel®钝化系统
  • 用户自定义的报警系统
  • 自动标定和认证校准
  • 遥控附件
技术支持

仪器的报价中含有终身的技术支持。包括了对应用适应性的确认,文件,现场安装和培训。一旦仪器安装完毕,就可以方便地通过电话和遥控信息的的技术支持。

VICI 的TGA痕量气体分析器是一种即装即用的在线分析仪表,硬件软件齐全,可立即用于分析ppb级各种痕量气体杂质。每台仪器都可以按照用户的具体技术要求,用标准的VICI部件配以分析方法,操作条件和程序文件,组成用户所需要的全套仪器。

所有的VICI TGS的标准应用方式是检测氦中的杂质,同时也可以组合成检测单元和多元气体中的杂质。取样系统和工业级CPU可以装入仪表架,也可以自成独立系统(如图)。标准的设置包括通过OPCserver软件和自动日常维护程序的数据共享。

定型产品

可以选择下列配置完整的定型产品

  • 测量氢气中的PPB级含硫气体
  • 测量CO2中PPB级含硫气体
  • 测量常用气(He, H2, Ar, O2, N2, CH4, C2H6, NH3, CO2, CO)中的杂质
  • 测量稀有气体(He, Ne, Kr, Xe, Rn)中的杂质
  • 测量半导体气体H2, SiH4, SiF4, HBr, CF4, CCl4, NF3, C2F6, C3F8, N2O, C2H2, C2H6, C3H4, PH3, AsH3, SF6, NH3 中的杂质

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