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自动椭圆偏振测厚仪

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天津市拓普仪器有限公司(天津市光学仪器厂)

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311

产品介绍

仪器简介:

产品特点:

仪器采用消光法自动测量薄膜厚度和折射率,具有精度高、灵敏度高以及自动控制等特点。光源采用氦氖激光器,功率稳定波长精度高。

仪器采用USB接口与电脑连接,配套软件功能齐全,具有多样数据采集及处理方式,适用于不同用户的需要。

技术参数:

规格与主要技术指标:

测量范围:1nm-4000nm 折射率范围:1-10

测量*小值:≤1nm 入射角:20°- 90°精度≤0.05°

度盘刻度:每格1度 允许样品尺寸:φ10-φ140mm,厚度≤16mm

偏振器方位角范围:0°- 180° 外形尺寸:680*390*310mm

测量膜厚和折射率重复性精度分别为:0.5nm和0.005

主机重量:26kg

仪器测量精度:±0.5nm(薄膜厚度在10-100nm时)

光学中心高度:80mm 成套性:主机、电控系统、USB接口、配套软件

成套性:主机、电控系统、USB接口、配套软件(需配计算机)

主要特点:

产品特点:

仪器采用消光法自动测量薄膜厚度和折射率,具有精度高、灵敏度高以及自动控制等特点。光源采用氦氖激光器,功率稳定波长精度高。

仪器采用USB接口与电脑连接,配套软件功能齐全,具有多样数据采集及处理方式,适用于不同用户的需要。

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