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SU8010发射扫描电镜

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产品介绍

SU8010—日立新型高分辨场发射扫描电镜SU8000系列

产品介绍:

  日立2005年在中国推出了S-4800型高分辨场发射扫描电镜,由于出色的应用性能、良好的稳定性和简易的维护,收到了各界用户的一致好评。

  日立2011年新推出了它的后续机型----SU8010,它继承了S-4800的优点,性能有进一步提高,1kv使用减速功能后,分辨率提升到1.3nm,相对于S-4800可以在更低的加速电压下呈高分辨像,明显提升了以往很难观测的低原子序数样品的观测效果。

特点:

1. 优秀的低加速电压成像能力,1kv分辨率可达1.3nm

2. 日立**的ExB设计,不需喷镀,可以直接观测不导电样品

3. Upper探头可选择接受二次电子像或背散射电子像

4. 可以根据样品类型和观测要求选择打开或关闭减速功能

5. 标配有冷指、电子枪内置加热器,物镜光阑具有自清洁功能

6. 仪器的烘烤维护及烘烤后的透镜机械对中均可由用户自行完成

二次电子分辨率

1.0nm(加速电压15kV、WD=4mm)
1.3nm(加速电压1kV、WD=1.5mm)
加速电压 0.1~30kV
观测倍率 20~8000,000(底片输出)
60~2,000,000(显示器输出)
样品台
马达驱动 3轴马达
5轴(选配)
行程 X 0~50mm
Y 0~50mm
Z 360°
T -5~70°
R 1.5~30mm
**装载尺寸 100mm(**)
150mm(选配)
探头
标配 Lower 高立体感图像
Upper 高分辨SE、BSE图像

选配

STEM 明场像、暗场像
YAG 探头 BSE图像
半导体探头 BSE图像
EBIC 电子束感生电流图像
EDS 元素分析
反污染措施
冷指 标配
物镜光阑 内置自清洁功能
电子枪 内置加热器
真空系统
离子泵 3台
分子泵 1台
机械泵 1台

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SU8010发射扫描电镜

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